製品

バッテリーレス・
アブソリュートエンコーダ付
ステッピングモーター「Mシリーズ」

特長

ハイブリッド型のステッピングモーターに、独自のセンサー機構で薄型を実現したバッテリーレスのアブソリュートエンコーダを搭載したモデルです。
アナログ時計の原理を応用し、非通電時でもバックアップ電源なしで現在位置の保持が可能です。さらに、非常停止時も原点復帰なしに運転再開ができるため、原点復帰に必要な原点センサーやリミットセンサーも削減しながら、タクトタイムの短縮にも貢献します。

ありとあらゆるものがネットワークでつながり、電動・自動化が進む中で、より高精度な半導体をより多く、より確実に作ることが求められる半導体製造装置。
なかでも、後工程でICやLSなどの半導体チップを基板に接着するダイボンディング工程を担う装置「ダイボンダー」は高精度な位置決めが求められます。ダイボンダーを例に、バッテリーレス・アブソリュートエンコーダ付ハイブリッドステッピングモーターの課題解決事例をご紹介します。