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フローセンサー

差圧センサー

MEMS技術を用いた小型差圧センサ。熱フロー式により高精度微小圧力計測が可能です。24bit分解能の⊿ΣADコンバータを搭載し、高精度な圧力値をデジタル値で出力します。

型式 関連データ 電源電圧範囲
[V]
動作温度範囲
[℃]
動作範囲 精度 インターフェース パッケージサイズ [mm]
  • MEMSの構造、種類、業界別用方法等、MEMSにまつわる技術の基礎知識から活用事例までを学べます。

    MEMSの構造、種類、業界別用方法等、MEMSにまつわる技術の基礎知識から活用事例までを学べます。

  • 世界最小・最軽量クラスのΦ9.6x9mmを実現。ノイズに強いデジタル出力センサー。

    世界最小・最軽量クラスのΦ9.6x9mmを実現。ノイズに強いデジタル出力センサー。

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