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技術解説

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ビルトインブラシレスモーター -概要説明

真空ポンプには多くの種類があります。
各真空領域(低真空、高真空、超高真空)で用いられる真空ポンプは領域により異なり、使われるモーターも異なります。
高真空領域で用いられるターボ分子ポンプに使用されるモーターでは、毎分50,000回転に達する物もあり、低真空領域で用いられるドライポンプに使用されるモーターでは、低回転高トルクを必要とされています。
どちらのタイプも高効率が求められる為、日々研究開発を行っています。


外観図 ロータ

外観図 ステータ

代表特性
回転数(min-1) 効率(%) 出力(W) ステータ外寸(mm)
6,000~50,000 90以上 100~3,000 ø65~ø175

特徴

最大の特徴はロータ、ステータが独立しているビルトインタイプとなっており、各々御客様のポンプに組み込まれます。
ポンプの状況に応じモーターの設計を変更できる為、御客様の設計の自由度が広がるのも特長となっています。


構造

真空ポンプ用モーターは、小型のタイプではDCブラシレスモーター、大型のタイプではACモーターが一般的に用いられております。
小型のポンプで良く用いられるDCブラシレスモーターの多くは、センサー※ がついているタイプが主流となっていますが、センサー※ がついていないセンサーレスのタイプもあります。
(近年ではセンサーレスタイプが徐々に増えてきています。)
センサーレス型DCブラシレスモーターの内部構造は、ACモーターのシンクロナスモーターに非常に良く似ております。
センサー型及びセンサーレス型DCブラシレスモーターでは、近年の希土類マグネットの高性能化に伴い、高出力が得やすくなりさらに小型化しています。

※センサー : ホール素子

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