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圧力計

特徴

代表製品写真

シリコン・オン・サファイア技術、及びひずみゲージを使用し、圧力を電気信号として測定する高精度、長期安定型の圧力センサーです。測定目的により各種測定器に接続し、圧力の表示、記録、制御、監視などを行います。 シリコン・オン・サファイア(SOS)技術とは、サファイア(Al2O3単結晶)基板上にシリコン薄膜を結晶成長(エピタキシャル成長)させ、シリコン半導体に加工してひずみゲージを形成するものです。 このシリコン半導体ひずみゲージとサファイア基板(圧力計のダイヤフラム)とは原子レベルで結合している為、安定性に優れた圧力センサーを実現します。


  • 高精度
    ダイヤフラムの素材であるサファイアはアルミ酸化物の単結晶であり、応答性が高く、直線性とヒステリシス特性に極めて優れています。
  • 高信頼性
    シリコン半導体ひずみゲージはサファイア基板に原子結合している為、極めて安定した特性と高い信頼性を保ちます。負圧側の負荷特性も正圧側とどうレベルに維持されるので、高精度の連成圧が測定可能です。
  • 高耐熱性
    SOS技術におけるサファイア基板はそれ自体が高絶縁体であり、350℃の高温環境下でもセンサーとしての使用が可能です。
  • 水素ガス適合性
    サファイアは水素ガス適合性に優れ、透過・脆化の問題を解決します。

用途

  • 建設機械の油圧管理
  • 狭い場所などのパイプ内圧力計測
  • 空調装置などの冷媒圧力監視
  • ガス封入容器の品質管理
  • 用途に応じて、サイズ、形状、仕様精度など対応可能ですので、機器組み込みセンサーとして幅広く活用されています。

《本体型式》

  • SOS方式アンプ内蔵型圧力トランスミッター:
    NS100A, NS115P, NS115
  • SOS方式圧力計:
    NS10T, NS30T
  • ひずみゲージ方式アンプ内臓圧力トランスミッター:
    PRN01, PRN02, PRN03
  • ひずみゲージ方式圧力計:
    PRB, PRC, PRJ, STD

技術解説

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