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ビルトインブラシレスモーター(SPM&IPM)

概要

製品写真:ビルトインブラシレスモーター(SPM&IPM)

高効率を追求したモデル
真空ポンプ(半導体製造装置)の動力源に用いられるセンサーレス型DCブラシレスモーター。構造はローター・ステーターの独立した形態(ビルトインタイプ)となり、真空ポンプに組み込まれることにより機能を果たすビルトイン方式。日々顧客と一体となって製品開発を行い、更なる高効率を求めています。

高効率IPMモーター
モーターローター内部に永久磁石を埋め込んでいるのも特徴になっており、マグネットを表面に貼り付けているSPM(Surface Permanent Magnet)に比べ遠心力によってマグネットがはがれる危険性がありません。また、駆動ドライバーについては市販インバーターにて容易に駆動する事が可能です。

用途

真空ポンプ(ドライポンプ&ターボ分子ポンプ)

特徴

真空ポンプには多くの種類があります。各真空領域(低真空、高真空、超高真空)で用いられる真空ポンプは領域により異なり、使われるモーターも異なります。高真空領域で用いられるターボ分子ポンプに使用されるモーターでは、毎分50,000回転に達する物もあり、低真空領域で用いられるドライポンプに使用されるモーターでは、低回転高トルクを必要とされています。どちらのタイプも高効率が求められる為、日々研究開発を行っています。

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